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작성자
관리자
작성일
2020-11-16
제목
Nanta(南大光电),ArF 포토레지스트, 삼불화질소 프로젝트 건설 위해 6.25억 위안 조달 예정

Nanta(南大光电)ArF 포토레지스트, 삼불화질소 프로젝트 건설 위해 6.25억 위안 조달 예정

 

液晶分会显示资讯: 2020/11/09

https://mp.weixin.qq.com/s/tOL2Gj_3zPVbyOcOAi5JPw

 

 

11 7, Nanta(南大光)는 비공개 주식 발행 계획안을 공시하였음. 이번에 발행 예정인 주식은 중국증권감독위원회의 요구 조건을 만족시키는 35이하의 특정인을 대상을 발행되며, 자금 조달 총액은 6 3500 위안(1070억 원) 초과하지 않음. 발행 비용을 제외한 나머지 금액은 포토레지스트 프로젝트 건설과 연간 생산량 2,000 삼불화질소 생산라인 확장에 필요한 장비 설치 프로젝트에 사용될 예정이며, 일부는 자금 유동성 개선에 사용할 계획임.

 

1. 포토레지스트 프로젝트

 

프로젝트는 ArF 포토레지스트 제품을 개발하여 제품화하기 위해 6 6천만 위안(1112억 원) 투자하는 프로젝트로, 2021년 완공을 목표로 진행되고 있음. 내용을 살펴보면, 첫째, 중국에서 최초로 ArF 포토레지스트 제품의 대규모 생산라인을 구축하여 연간 25톤의 ArF(건식 액침식) 포토레지스트 제품 생산능력을 갖추고, 90nm-14nmIC 제조 요구사항을 만족시킬 수 있게 됨. 생산되는 제품은 대량생산을 위해 IC 제조 고객사의 사용인증을 통과했음. 둘째, ArF 포토레지스트 제품 개발을 위한국 최초의 전문 시험평가 플랫폼을 구축할 예정임. 이들 플랫폼에는 ArF 광각기,  코팅 및 현상 일체화기, 미세패턴주사전자현미경(Critical Dimension-Scanning Electron Microscope: CD-SEM), 결함 감지기 분석기 등 테스트 장비를 갖추고 고급 포토레지스트 제품 기술 개발에 필요한 요구 장비를 갖출 계획임. 셋째, 국제 수준의 포토레지스트 제품 개발팀 생산팀을 구성함. 프로젝트의 실행 주체 자회사인 닝보(宁波) Nanta이며, 건설 내용은 "고급 포토레지스트 고순도 재료의 개발 산업화" "ArF 포토레지스트 제품의 보조재료의 개발 제품".

 

(1) 첨단 포토레지스트 고순도 보조재료 개발 제품

 

건설 내용은 포토레지스트용 고순도 현상액의 대량 생산라인을 구축하는 것으로 합성, 정제, 분석, 주입/밀봉 공정 장비 및 분석/테스트 장비를 설치하는 것을 포함함. 또한 최신 포토레지스트 분석/테스트 센터를 구축할 예정인데, 이 센터에는 액침식 광각기, 코팅 및 현상 일체화기, CD-SEM 같은 주요 테스트 장비가 도입됨. 프로젝트가 본격적으로 가동되면 포토레지스트 연구개발 센터, 고급 포토레지스트 분석 테스트 센터, 연간 350톤의 고순도 현상액 생산라인이 구축됨.

 

(2) ArF 포토레지스트 제품 개발 제품

 

건설 내용은 고급 고순도 클린룸을 포함한 ArF 포토레지스트 생산라인을 구축하고, ArF 포토레지스트 제품의 생산능력을 갖추는 것임. 또한  ArF 포토레지스트의 보조 핵심재료의 생산능력을 갖추고 포토레지스트 원재료의 공급 시스템을 완비하는 것임. 프로젝트가 본격적으로 가동되면 연간 5톤의 ArF 건식 포토레지스트 생산라인, 연간 20 ArF 액침식 포토레지스트 생산라인, 연간 45톤의 포토레지스트용 고순도 시약을 생산하는 생산라인이 구축됨.

 

 

2. 2000/ 삼불화질소 생산공장 증설

 

이 프로젝트는 3위안(505억 원) 투자하여 연간 생산 규모2000톤의 삼불화질소 생산공장을 증설하는 것임. 건설 내용은  5# 삼불화질소 전기분해 공장, 6# 삼불화질소 전기분해 공장, 3# 삼불화질소 후처리 공장임.

 

NantaMo(몰리브덴) 소스 제품 사업, 고순도 전자 특수가스 제품 사업, 포토레지스트 보조재료 사업, ALD 전구체 제품 사업를 영위하고 있음. 회사의 주요 제품은 MO 소스와 전자 특수가스 제품임. 특히, 전자 특수가스 사업은 회사 이익 창출의 중요 사업분야임. 회사의 원래 전자 특수가스 제품은 고순도 포스핀(phosphine) 아르신(rsine)으로 전자 특수가스 산업에서 선도적 업체임.

 

이 프로젝트를 통해 삼불화질소 가스 생산능력을 확대하여 불소 함유 전자 특수가스 분야의 사업 역량을 강화하여 회사의 집적회로 제조 고객사에 대한 서비스 역량을 강화함으로써, 회사의 시장 점유율을 확대하고, 불소 함유 전자 특수가스의 시장 경쟁력을 높여나갈 계획임.


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