중화액정망 2020/3/9

http://www.fpdisplay.com/news/2020-03/info-192855-497.htm

 3월 6일, Nata(南大光电)은 투자자정보플랫폼에서 자회사인 닝보(宁波) Nata가 ArF(불화아르곤, 파장길이 193㎚) 포토레지스트 생산라인을 구축하고 있다고 밝힘. 이 생산라인은 현재 시운전 단계임. 연구개발 중인 제품은 현재 테스트 및 인증 절차 과정 중에 있으며, 양산 후 판매에 이르기까지는 아직 시간이 필요함.

 지난 2019년 7월 17일, Nata는 투자자정보플랫폼에서 자사가 포토레지스트 사업부를 꾸리고, 전액 자회사인 닝보 Nata(宁波南大光电材料有限公司)를 설립하여 불화아르곤 포토레지스트 개발 및 상품화 프로젝트를 추진할 것이라고 밝힌 바 있음. 또한 이 프로젝트는 기술의 연구개발을 마친 상태로, 인증 절차를 기다리는 중이며, 2019년 말에는 첫 포토레지스트리 생산라인 건설을 완료할 예정이라고 덧붙임.

 2019년 10월 23일, Nata는 자사의 ‘193㎚ 포토레지스트 제품의 연구개발 및 상품화 프로젝트’가 순조롭게 진행되고 있으며, 중국 IC 산업의 혁신적 발전에 기여하기 위하여 최신 포토레지스트 재료 및 부재료 공급원 건설에 박차를 가해나갈 것이라고 밝힌 바 있음. 닝보 Nata 프로젝트는 닝보경제기술개발구(宁波经济技术开发区)에 위치하게 되며, 첨단 IC 제조를 위한 각종 최신 기술의 포토레지스트 재료 및 부재료와 BARC(Bottom Antireflective Coating: 하부반사방지막) 같은 고순도 부재료를 개발하여 대량 생산능력을 가진 생산라인으로 키워나갈 예정임.이 프로젝트의 총 투자액은 6억 위안(약 1,034억 원)이며, 목표 매출액은 10억 위안(약 1,723억 원)임.